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摘要 [w\9as/ E LGc&o]k 在此示例中,针对特定入射角研究了F-theta物镜的焦点(PSF)。为了避免因离焦照明导致的焦点偏移而引入的额外计算量,根据光的主传播方向来移动探测器位置。使用VirtualLab的参数耦合工具自动调整探测器的位置。 <" @zn L{E^?iX
bWZbG{Y. Kf 2jD4z} 建模任务 /t6X(*xoy BC,.^"fA6
be e5 lNv".Y=l 通过参数耦合自动定位探测器 .>wv\i[p DAg58
=qJ 参数耦合允许用户通过一个小脚本“片段”定义所需系统参数的变化。 QI]Ih 因此,独立输入参数值的任何变化都会同时导致从属(耦合)参数的变化。 BSq)RV/3 在此示例中,我们将所需检测器的横向位置与主光线的位置重合。 \uME+NF .[u>V
|v[ Rp=?] :L_BG)dM 参数耦合过程 p#SY /KIw 为了找到探测器的适当横向位置,通过应用参数耦合代码段执行附加的光线追迹步骤。可以导入此特定代码段: D0mI09=GtQ ,Rx{yf]k
eUl/o1~mXa \v6M:KR5/ 探测器索引选择 -o+74=E8[? ]I/Vb s 必须在代码片段的specification选项卡中指定探测器的唯一索引。 /%4_-C pm KluA
|0{u->+ ) {k5X*W 斜入射 .D4bqL :K?0e`
+,50qN:%[ NZN-^ > 现在,如果改变平面波光源的传播方向,探测器的位置就会自动调整。在此示例中,15°的角度将导致x方向上26.3mm的偏移。
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O"i3>C ES<{4<Kpx 性能评估 - 斜入射 aS|wpm)K>8 7ZUiY
$6F)R| Dml*T(WM> 轴上&离轴照明 L:M0pk{T 1Uf*^WW4 在离轴照明的情况下,探测器的位置也会自动调整。在此示例中,100μm的位移是由参数耦合自动考虑的。 CK_(b" eQO#Qso]
#'OaKt?Z) +pH@oFNK 性能评估 - 离轴照明 hJ5z/5aE; uhV0J97 nK3k]gLc{ ED$DSz)x VirtualLab Fusion技术 44\>gI< .[DthEF
m}$+Hdk+7 9Q W&$n^ 文件信息 1\dn1Hh A>NsKWf{
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