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摘要 8 v/H;65 $ L*gtZ 在此示例中,针对特定入射角研究了F-theta物镜的焦点(PSF)。为了避免因离焦照明导致的焦点偏移而引入的额外计算量,根据光的主传播方向来移动探测器位置。使用VirtualLab的参数耦合工具自动调整探测器的位置。 hA7=:LG 6S`_L
tOIqX0dWd x[0T$ 建模任务 `16'qc m<CrkKfpG
)lG}B U. Od!)MQ*, 通过参数耦合自动定位探测器 Rl?1|$% 2js/>L0 参数耦合允许用户通过一个小脚本“片段”定义所需系统参数的变化。 VGS%U8; 因此,独立输入参数值的任何变化都会同时导致从属(耦合)参数的变化。 c8uaZvfW 在此示例中,我们将所需检测器的横向位置与主光线的位置重合。 z !K2UTX [JOa^U=
s= Fp[>qA ~+Wx\:TT 参数耦合过程 4 &bmt 为了找到探测器的适当横向位置,通过应用参数耦合代码段执行附加的光线追迹步骤。可以导入此特定代码段: F2N"aQ& 'O<b'}-A
G5}_NS/ TU|#Pz7n-Z 探测器索引选择 S?688 8eXeb|?J 必须在代码片段的specification选项卡中指定探测器的唯一索引。 lC5zqyG Z(MZbzY7Hq
hek+zloB+ zluq2r 斜入射 9UM)"I&k t&?jJ7 (&8
L=lSW7R X!KX4H 现在,如果改变平面波光源的传播方向,探测器的位置就会自动调整。在此示例中,15°的角度将导致x方向上26.3mm的偏移。 i}m'#b .j4y0dh33 性能评估 - 斜入射 FB6Lz5:Vf ,Fn;*
pwo$qs(p f^pBXz9&= 轴上&离轴照明 k4{!h?h xlv(PVdn 在离轴照明的情况下,探测器的位置也会自动调整。在此示例中,100μm的位移是由参数耦合自动考虑的。 ZF>:m> |lNp0b
w%L4O;E]*{ *7AB0y0k 性能评估 - 离轴照明 aO{@. P^te 8a6.77c SdnnXEB7 VirtualLab Fusion技术 vu(
5s @qNY"c%HV
WJ8i=MO67 DOWWG!mx 文件信息 gSFZ>v*6 tl dK@!E3
e66Ag}Sw| sc*R:" %bw+>:Tr QQ:2987619807 uH\EV`@'
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