目录 ~Jk&!IE2 1. IPVAR 以质心为参考点优化 OPD /~Y\KOH| 2. CFIX {C/E/R} 自定义孔径形状 I.n,TJoz4J 3. ZCSTOP 定义不同变焦位置的光阑孔径 hyH[`wiq $Z:O&sD{
mux/\TII IPVAR eR$@Q · IPVAR 操作数以图像质心作为 OPD 参考点,以波前方差为目标。因此,它不同于GNV,GNV以主光线点为基准。它在格式上也不同。需要使用 M tar wt...格式,这种格式与光线像差相同。 j(=w4Sd_W {Sf[<I
H)Btm IPVAR示例 `gX|q3K\s · 示例:对simple_triplet.rle 进行优化。 &"^F;z/ · 未加 IPVAR 指令的优化宏和优化结果如下: lS4r pbU_ )A\
ZS<@Z7
4.!1odKp
~w?02FU =6u@JpOl
(9Zvr4.f7 · 添加了IPVAR指令的优化宏和优化结果如下:
pR61bl)
9MMCWMV 2!{D~Gfl=
IPVCFIX {C/E/R}
· CFIX 命令更加强大。CFIX {C/E/R} 将重新定义当前所有孔径为圆形、椭圆形或矩形的硬孔径。如果在 FFBUILD 输入中使用 XCAP 命令使孔径为非圆形,且希望后续更改孔径类型,则可以使用 CFIX {C/E/R} 指令。 4j#y?^s L,}'ST
CFIX示例
· 示例: 5-MIRROR SYSTEM.RLE JT?u[pQ^ · 该系统孔径均为软孔径 w:t~M[kTW
T Rv · 然后,在Command Window 中输入 +<a\0FsD CHG %L=e%E=m XCAP aKDY_D END 'JOUx_@z · 以声明X和Y方向上的孔径。 P_(8+)ud- 50cVS)hG6d
gJQ#j~'
o-\h;aQJ ·现在,将所有软孔径更改为硬孔径。在 Command Window 中输入 .9bi%=hP CHG #EH=tJgO|J CFIX R \ %Mcvb.? END dua F?\vv ZCSTOP
· ZFILE 变焦镜头中新增选项 ZCSTOP。如果 ZFILE 输入中包含 ZCSTOP,并且镜头文件中有 CSTOP,则程序将根据光线路径重新计算每个变焦位置处光阑上的硬孔径 CAO。 i#'K7XM2 ZCSTOP示例
· 在不同变焦位置处在 CW 输入 CAP 查看孔径,光阑孔径一致。 d4| )=
o701RG~)
j%6p:wDl
6
9>@0P · 在宏文件中添加 CSTOP 指令,在 ZFILE 处添加 ZCSTOP 指令,重新运行宏
@ap!3o8,9
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在不同变焦位置处在CW输入CAP查看光阑处的孔径
}J# HIE\RG
=\<NTu 问题修复
· 修复了MSS对话框和用户手册中开关列表不一致的问题。 "`qk}n- |p:4s"NT SYNOPSYS中文版已发布,欢迎大家申请试用 UY3)6}g6