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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 1.+w&Y5
wSrq?U5q 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） S<RJ4 6 We^! (G 所需工具：Grating Toolbox Basic ] r8
hMv li>`9qCmI 相关Tutorials：G.001; G.014 kbij Zj{ 建模任务 lZpa)1.tiC mDn*v(
f 理想平面波照射 Vq7L:,N9 %m8;Lh- X $s]c'D)  RS`]>K3t l=jfgsjc %m\dNUz4g 镀膜倾斜光栅 -C9 _gZ 目标平面 J N5<=x5r o)NQE? 周期：10um 7_ $Xt)Y{ 厚度：10um WdXi 倾斜角度：20度 xRZ9.Agv_ y @&Cn 光栅的参数 O0?.$f9 s 8"2
Y$*)( —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 cO$
PK ]6wo] nV[P —填充因子 2—后面的介质 }m6zu'CV —膜层厚度 3—膜层材料 (h8M —光栅厚度 5 w: 2 {t i])
J \iyc,M<M  5<-_"/_
+J` EBoIo W}6(; tI 设置层数和转折点 5B+>28G% {Mt4QA5iZ sS$"6  2 设置层数和转折点以确定膜层 *&VH!K#@{ A?{ X5` y "*o54z5" 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 vfG4PJ 6 XW!a?aLNX & i,on6 实现可编程光栅 xA;o3Or OoKzPePWji m>4jRr6sF  r3a$n$Qw
"e WN5 2 voRr9E*n 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ~R SOUrR  qTK\'trgx] !;'. mMO&% 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） x \qS|q\N nZ?BC O e|:# Y^ vywd&7gK  # 4E@y<l$ Z5aU7 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 5m,{?M`  l?CUd7P(a Y40Hcc+Fx 2 双击Data Series Diagram <1tFwC|4BJ FC.d]XA%/d 采样结果 5ru&In&  V|.3Z\(
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. @=o1q=5@8 b-e3i;T!}~
QQ：2987619807
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