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1.Horos—光学粗糙度传感器。 ]@G$ L,3 2.测量样本。 a"Q> K7K 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 `rQDX<? 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 kE ` V @F QH]G>+LI 5 系统简介 _O w]kP='
"u=U@1 ^ 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 A."]6R< E|`JmfLQu 特征及技术参数 NBaXfWh
`= FDNOwp - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 VQe@H8>3 - 灵敏度R_q<0.5 nm C(jUM !m - 测量时间： < 1 s。 FcI ZG _ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ^.:dT?@R 'qt+.vd Qi? xx') 传感器： +ia N[F$
?K>=>bS^h Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ,2 *x4Gycb 1O@y
>cV 应用： RX6s[u Q
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： >/eV4ma" - 平面或复杂（自由形状）表面。 )Co&(;zf - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 Sb,lY<= - 机械零件。 p+7ZGB - 汽车工业。 {DVu* %| iM'rl0
UX!)\5- QQ：2987619807 (w /)u
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