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'$FF/|{ 1.Horos—光学粗糙度传感器。 k4Q>J,k 2.测量样本。 B*tYp 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 EE9w^.3a 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 cWW?@_ @c^ Dl 系统简介 I>?oVY6M@u fkI 5~Y| 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 >/ay'EyY;> `W86]ut[ 特征及技术参数 GDSV:]hL !hVbx#bXl - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 Pn!~U] A$% - 灵敏度R_q<0.5 nm +b 6R - 测量时间: < 1 s。 G&S2U=KdV% - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 <vcU5
.K. [ar0{MPYd eN])qw{ 传感器: xMr,\r'+ prZ
,4\ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 mx^Ga=:
? w_{tS\ 应用: +q&Hj|;8r )Qb,zS6 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: i"&FW&W - 平面或复杂(自由形状)表面。 |Gic79b - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 [wQ48\^ - 机械零件。 uZ6krI - 汽车工业。 +W4}&S Z3]I^i
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GK/Po51 QQ:2987619807 H,} &=SCk
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