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1.Horos—光学粗糙度传感器。 ]S(%[| 2.测量样本。 e.@uhB. 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 I! > \#K 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 j'aHF #_ a)S+8uU 系统简介 e"'#\tSG
/D q LrA 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。
qNm$Fx 2*N_5& 9mE 特征及技术参数 /Nr* `l
Pt&(npjN, - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 AgRjr"hF*e - 灵敏度R_q<0.5 nm ,_X /Gb6) - 测量时间： < 1 s。 >0dv+8Mn - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 jMbC Y07v + J{0 E {5d9$v7k4 传感器： E[O<S B
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m! W3Cwz\& Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 O Ki\ zS c wm_nQKk 应用： hFk3[zTy
~ }!3G
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： +8v9flh - 平面或复杂（自由形状）表面。 2-"0 ^n{ - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 MB%Q WU - 机械零件。 [tg^GOf ' - 汽车工业。 rz "txN xGU(n _ Y
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.*y QQ：2987619807 Z0`T\ay
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