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摘要 nwZ[Ygl| HY*l 4QK
XMjI}SPG !O 0ZD4/{4 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 $xKg }cO bx+(.F 建模任务 ~Da
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jrDz7AfA D<+ bzC 在VirtualLab Fusion中构建系统 DR.3
J`?K S/#) :,YS 系统构建块 &.|;yt%v { Hktu|
u!=]zW% 'US:Mr3 元件解算器 f 3nnXE" ;`X`c
*Y|lO @c.11nfn` 利用光线追迹进行几何光学仿真 Mqrt-VPh fJSV)\e0 结果:几何光线追迹 o+)m}'T8 B`'}&6jr.
;j[q?^ b mSVX4XW< 利用场追迹进行物理光学仿真 |q1b8A \ <MI$Nl 不同离焦像面的双螺旋PSF %8bFQNd LH?gJ8`
ex;Yn{4 LbtlcpF*~5 文件信息 FvtM~[Q S4@117z5
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9vX$Hj QQ:2987619807 g/n"N>L
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