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摘要 Alpk5o5B 6k*,Yei
gX!-s*{E wOs t). 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 [e;c)XS[ TnQ"c)ta 建模任务 T43Jgk, Av_JcH
$ucA.9pJ @PAT|6 在VirtualLab Fusion中构建系统 ;30SnR/ 'nSo0cyQ 系统构建块 h0)Dj(C i-gN<8\v
V3<H8pL JBt2R= 元件解算器 ~Y/o9x0 g}n-H4LI
.6[7D )uu1AbT+e 利用光线追迹进行几何光学仿真 ME.a * v jcL%_of 结果:几何光线追迹 SZ(]su: (rm*KD"]
R]<N";- @p ZjJ<9QM 利用场追迹进行物理光学仿真 ]-"G:r xTg=oq 不同离焦像面的双螺旋PSF y$[:Kh, chA7R'+LA
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c'nC4 文件信息 7-# Ra/Pk G-7
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