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摘要 FEaf&'G] =]xNpX)
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n 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 $'9r=#EH (:+IS
W 建模任务 tt J,rM bvG").8$
O|y-nAZgU >+vWtO2 在VirtualLab Fusion中构建系统 2z0HB+Y}x xA!o"VZPq7 系统构建块 D4'XBXmb Fa+PN9M`?.
i+&="Z@ M5ZWcD.1 元件解算器 sgX}`JH?z
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pHg8(ru| ['R=@. 利用光线追迹进行几何光学仿真 y'@l,MN{ TJ;v}HSo 结果:几何光线追迹 o~4n8 Tl%4L%
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TS[Z<m +'n1?^U 利用场追迹进行物理光学仿真 ycE<7W r?X^*o9 不同离焦像面的双螺旋PSF hYWWvJ)S /GeS(xzQ
]cA~%$c89s {VNeh 文件信息 f:UN~z'yr [KE4wz+s{
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