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摘要 Lg4I6 G E$84c+
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bnuC ZIrJ"*QO= 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 0Ku%9wh- (">gLr 建模任务 5Pl~du -'!%\E;5
]w=6.LzO* &$</|F)y 在VirtualLab Fusion中构建系统 #%i-{t+_> |+MV%QG; 系统构建块 :+>:>$ao +vtI1LC;_
Wd_cNR\ r?= 7#/] 元件解算器 y3O Nn~k _('KNA~
H -,RzL/ -f-2!1&<3h 利用光线追迹进行几何光学仿真 21BlLz pQY.MZSA 结果:几何光线追迹 H19CVc\B :K6(`J3Y"^
uvrfR?%QK y[l19eU 利用场追迹进行物理光学仿真 \ns#l@B I!;# Nk> 不同离焦像面的双螺旋PSF E0 Vl}b t*)-p:29h
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