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摘要 Ws U)Y& 1/+C5Bp*
gmKGy@] =ac_,]z 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 Cwa^"r3P1 B(g_Gm< 建模任务 S{t +>/ 7cP@jj
;ea]$9 Rk<@?(l!6x 在VirtualLab Fusion中构建系统 +j_;(Gw7 f
3V Dv9( 系统构建块 .~A*= B(a-k?
tsOrt3 jdZ~z#`(!: 元件解算器 8I20*# P9Yy9_a|x
mYN7kYR}<` r`y ezbG 利用光线追迹进行几何光学仿真
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(n+SY^ 结果:几何光线追迹 : JzI>/ K;?,FlH
;h6v@)#GX ;7]u!Q 利用场追迹进行物理光学仿真 TNCgaTJ{h FuG4F 不同离焦像面的双螺旋PSF }VS3L_
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