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摘要 ffB<qf)?G Z 5 .cfI[ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 -
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8/> 设计任务 Y -BZV | o^uh3,. i%f
C`@ -{?xl*D 1级参数优化 PCDvEbpG ]*$o qn=m kMzDmgoxNg P-^-~/>n 结果-容差分析
iH>JR[A "j&p3 4,)QV_? kotKKs 结果-容差分析 RM%Z"pc Y6 o+^e+ptc {9@E[bWp# uRuu!{$ VirtualLab Fusion一瞥 G'HLnx}Yi "AWk
jdj rP6k} Cx) N;x VirtualLab Fusion中的工作流程 v+C D{Tc ,pZz`B# 构建光栅结构 >9g^-~X;v −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Mns=X)/hc −倾斜光栅高级设定[用例] E}36 •光栅衍射效率分析 '/ueY#eG −光栅阶序分析器[用例] %74f6\ •使用参数优化进行光栅参数优化 x41 t=E]( •使用参数运行的容差分析 *D7oHwDU HW6Cz>WxOW Frhm4H%,_R (hY^E(D VirtualLab Fusion技术 phwq#AxQ LXe'{W+bk ?K.!^G !C.{nOfyv 文件信息 e
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