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    • 光学手册（上、下册，李景镇） 光学元件微纳制造与精密检测技术 京东6.18购物红包，每天领三次！ 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 u,k8i:JY  
    8o!^ZOmU<  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 0-O.*Q^  
    !a&F:Fbm  
    8+b3u05  
     Ceb i9R[  
    建模任务 mM%BO(X{=  
    +Rd{ ?)2~  
    7oSuLo=  
    概述 FAGVpO[  
    cjpl_}'L:  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 u _^=]K;  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 No+zw%l0E  
    +u.L6GcB  
     AY erz  
    M_uij$1-  
    光线追迹仿真 4<HJD&@V  
    v2g+o KO]  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 t)+dW~g  
    •单击go！ )Jn80~U|1  
    •获得了3D光线追迹结果。 ?2Dz1#%D  
    YiMecu  
     'IszS!kY  
    tx-bzLo\  
    光线追迹仿真 lvffQ_t  
    Wn5]2D\vkT  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &Gl&m@-j  
    •单击go！ vZsVxx99  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~VKXL,.  
    vA`.8U 0S  
     L1BpY-=  
    &n wg$z{Y  
    场追迹仿真 ^(3k uF  
    ,vj^AXU  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 6h%(0=^  
    •单击go！ Wi<Fkzj  
    )2S\:&x  
    <}%*4mv  
     JZ [&:  
    场追迹仿真（相机探测器） I6_+3}Hm{  
    @ Ia ~9yOY  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 i^(<E0vS  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 2NM} u\%c/  
    '(}BfDP  
     ;Xns9  
    AyDK-8a  
    场追迹仿真（电磁场探测器） l3,|r QD  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 h pU7  
    :Pv{ E  
    tP9}:gu  
     ]So%/rOvX  
    场追迹仿真（电磁场探测器） "F&uk~ b$  
     _F9 c.BH  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [(hENX}o :  
    %/7`G-a.B  
     9ccEF6o0=  
    Xs`/q}R  
    文件信息 ]Q+Tm2{  
    R!O'DM+  
     OP@PB|  
    iH2|w  
     rfk';ph  
    QQ：2987619807 #8A|-u=3  
     
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