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1. 摘要 DHUK_#! 7wivu*0 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 xp!MA o_.f7|U! oTtJ]`T 1%v!8$ 2. 建模任务 ,eI2#6w|C cN#c25S> jvI!BZ C#^V<:9 3. 干涉条纹的变化 ^ZxT0oaL [9wuaw"~[Z $ ]ew<j -W/Lg5eK 4. 走进VirtualLab Fusion !CBvFl/v o =oXL2} fEdp^oVg Lp|7s8? 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 >TB"Ez09 =bx;TV P}2i[m.*, zS9HR1 6. VirtualLab Fusion 技术 v%ldg833l >@g+%K] ^\ N@qL 7. 文件信息 ,P%a0\ n=z=%T6 }{R?i,j( rZij[6]Y^ o*fNY QQ:2987619807 %nRz~3X|+v
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