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摘要 BM<q;;pO C`hdj/!A 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Kcm+%p^
ECOJ .^ (-gomn KLyRb0V 建模任务 5EFt0?G oZa'cZNs E+aePo U 仿真干涉条纹 17 Ugz? ,AP0*Ln Co1d44Q 走进VirtualLab Fusion 6Ijt2c'A} (9Zvr4.f7 C|V7ZL>W 9MMCWMV VirtualLab Fusion中的工作流程 .xN<<+|_v' 3YHEH\60^ •设置输入场 $-}&RW9 −基本光源模型[教程视频] J8qFdNK •使用导入的数据自定义表面轮廓 (`1io •定义元件的位置和方向 V4[-:k − LPD II:位置和方向[教程视频] dH y9
wU •正确设置通道以进行非序列追迹 l=E86"m −非序列追迹的通道设置[用例] ev4[4T-(@ •使用参数运行检查影响/变化 {DRk{>K, −参数运行文档的使用[用例] #*o0n>O Zw]"p63eMa }bb,Iib [E1qv; VirtualLab Fusion技术 ~*HQPp?v 9{u= 文件信息 5#GMp (/A.,8Ad QQ:2987619807 ;z'&$#pA
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