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摘要 ?/3{gOgI$` T*k{^= 6"! 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 t`6~ ud >
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 R74RJi& M;g"rpM 建模任务 d|tNn@jN " u]X/
{L  FKtCUq,: 光栅特性与参数的严格分析 NHdNCHhA>- /xg1i1 Et
不同光栅周期下的衍射效率 aB&a#^5CI }!kvoV)]1
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)CH\]>-FO 关于光栅周期选择的考虑 J"eE9FLM
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 g/z7_Aq/ w"FBJULzn9 VirtualLab Fusion中的工作流程 u`Zj~ t
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 tc<HA7vpt~ = (as{,j •构造光栅结构 k
3 oR:
−通过使用界面来配置光栅结构 $s 9YU"
[用例] Xa=oEG
•分析光栅衍射效率 F J
V!B&
−光栅级次分析器[用例] R|t.J oP 9
•使用参数运行搜索初始解决方案 UV)!z gP
−参数运行文档的使用[用例] X2C&q$8
•通过参数优化找到最终设计 Mr yY<s OR-fC VirtualLab Fusion技术 ~`CWpc: sy+tLDMd
 ^U{SUWl af;~<o a 文件信息 +m1y# | 08 \9jvQV/y %b3 s|o3An  :"~n`
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|7E1yu QQ：2987619807 4X:S#z
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