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    [技术]JCMSuite应用--线型光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-11
    qC-4X"y+  
    这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 qeC^e}h  
    zCv)%y  
    光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 G5lBCm   
    S偏振照明的近场强度
    E2tUL#  
    P偏振照明的近场强度 s`pdy$  
    傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 r?|(t?  
     aWNj l  
    参数扫描 MShcZtN  
     :UX8^+bfZ  
    Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 FxT]*mo  
     k@pEs# a  
    它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： t. HwX9  
    iVo-z#  
    在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。 X5(oL  
    b>9?gmR{  
    QQ：2987619807
     
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