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    [技术]JCMSuite应用--线型光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-11
    n8)&1 q?V  
    这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 [aA@V0l  
    )HI\T];  
    光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 J2 )h":2  
    S偏振照明的近场强度
    \6MM7x(U3  
    P偏振照明的近场强度 v,*C>u\3s  
    傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 4 X/UyBk  
     A15Kj#Oy  
    参数扫描 : qK-Rku  
     hi$AZ+  
    Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 N2HD=[*cr  
     iFI+W<QR  
    它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： ?B e}{Qqlg  
    }[lP^Qs  
    在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。 Ua:@,};  
    {Ak 4GL  
    QQ：2987619807
     
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