-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-04-22
- 在线时间1968小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
<)U4Xz ? 这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 b>11h 8-M e.2K 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 tFM$#JN S偏振照明的近场强度 tR)H~l7q P偏振照明的近场强度 zT#`qCbT'J
傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 =\3Tv
f.6~x$:)`E 参数扫描 +L%IG
X2yTlLdY Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 lAi2,bz"
%d;ezY '2 它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： -VT+O+9_A BRv x[u 在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。 )rm4cW_ MX|H}+\
QQ：2987619807
|
