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    [技术]JCMSuite应用--线型光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-11
    s=Kz9WLy  
    这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下,线型的横截面具有梯形形状,它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 a%QgL&_5  
    Bp4#"y2  
    光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 M[e^Z}w.V  
    S偏振照明的近场强度
    9Fg:   
    P偏振照明的近场强度 )r(e\_n  
    傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 F3x*dq2  
    pi/&WMZ<  
    参数扫描 /74)c~.W  
    |`+ (O  
    Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 o<5+v^mt#  
    lQ4$d{m`  
    它会生成以下曲线图,显示反射和透射衍射级的强度:  gOp81)  
    PK&X | h  
    在脚本data_analysis/run_can_width.m中,线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化,照明角度固定。 +KOhDtLMG  
    gRZ!=z[&  
    QQ:2987619807
     
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