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*Ey5F/N}$H 这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下，线型的横截面具有梯形形状，它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 HLj XH#ry q( N2 #di 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 cy0
%tsB| S偏振照明的近场强度 ]klP.&I/0 P偏振照明的近场强度 ,d^ze =
傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 a,B2;4 "
i{['18Q$F3 参数扫描 d@ +}_R"c
2!6+>nvO Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 X)-9u 8
QFg,pTj 它会生成以下曲线图，显示反射和透射衍射级的强度： gH{X ? Cfiz h@< 在脚本data_analysis/run_can_width.m中，线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化，照明角度固定。 u!&w"t61Nd XxN=vL& m
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