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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 6 cr^<]v ! |<2JQ [] 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） zXDd,ltm @%keTTZ 所需工具：Grating Toolbox Basic IM2/(N.% /T4V J{D 相关Tutorials：G.001; G.014 qIUC2,&g 建模任务 fzOMX
z %L.rcbg:<c 理想平面波照射 @Yb Z 8Uc 0I6499FQ %!W 6<ioW  aSxG|OkKy <y'qo8oqF >pJ6{I p 镀膜倾斜光栅 目标平面 )<tzm'Rc paU yS 1i 周期：10um Ld'EA BM 厚度：10um 3 pHn_R 倾斜角度：20度 U0ns3LirP cKSfqqPm$" 光栅的参数 ]r ]+yM| [cY?!Qd 0 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 [_h.1oZp~ —填充因子 2—后面的介质 C!oksI —膜层厚度 3—膜层材料 ~m3V]v(q7 —光栅厚度 'G3+2hah ?cA8P.?^A WCWSLEAz a  p}cd}@cQ6
x*k65WO\ z;``g"dSw 设置层数和转折点 /"g[Ay |A2 W8b
{] =t ~ +63)  2 设置层数和转折点以确定膜层 F?!};~$=Z zT2F&y
q P<TpG0~( 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 1 NB2y[ )+VHt
B=r]_&u-u 实现可编程光栅 AD0ptHUBa 0#2T0zk i,C0o  UA1]o5K
Y8{T.\%\+ d )pz 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） :%+^}  ptnMCF m1M;'tT@ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） qBf wN 1 _3-RoA'UZr p3>Q< H'j_<R N  m? ]zomP /gMa" 5?, 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） jb #1&L 14  z_)OWWdN
<Hq6]\< 2 双击Data Series Diagram GF$rPY[ %N?W]vbra
采样结果 @1`W<WP  t1*BW Y
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Xs. $2 )VV4HoH]8
QQ：2284816954 备注：光学
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