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摘要 r&_e3#]* VV/aec8 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 ovZ!} V0G[f}tm' ?1**@E0 A@eR~Kp
^ 1. 建模任务 _K B%g_{ y@<&A~Cl^ Hb[P|pPT S4pEBbV^n 2. 结果 L9]d$ r" Z^J7r&\V m%b#B>J,n z 'V$)U$f
WtC&Qyuq YRCOh:W* 3. 文件和技术信息 y[zjs^-vCv 0]zMb^wo lx7]rkWo|a R\-]$\1D gfKv$~ QQ:2987619807 /iL*)
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