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摘要 "' LOaf$X i1kh@s~8UC 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 ]7Xs=>"Iw m"ki*9] Wl}G[>P 1. 建模任务 dvH67 x HvL9;^! 2. 干涉条纹的变化 6Wcn(h8%* 9 ;! uV>-H @5POgQ8 3. VirtualLab Fusion概览 -bG#h)yj G+%5V5GS {;wK,dU 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 P7^TRrMF 设置输入场 FL*w(Br. - Basic Source Models [教程视频] p5D3J[?N 定义组件的位置和方向 %E=,H?9&> - Basic Source Models [教程视频] =h1 QN 正确设置通道以进行非顺序跟踪 M 2U@gC|{ - Basic Source Models [使用案例] ESXU,
qK]v 使用参数运行检查影响/变化 knj,[7uh - Usage of the Parameter Run Document [用例] S
-mz xj ~vvQz" (*@~HF,t= {yl/T:Bh& 5. VirtualLab Fusion 技术 :D)&>{? ocuNrkZ 7{6cLYl 6. 文件和技术信息 X_Of k jmwQc& TPmZ/c^
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