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摘要 uG.` T;kh+i 复杂光学光栅结构被广泛用于多种应用,如光谱仪、近眼显示系统等。利用傅里叶模态法(FMM,或称RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一种用于任意光栅结构严格分析的简单方法。利用图形用户界面,用户可以设置堆栈的几何形状,从而产生复杂的光栅结构。本案例主要集中于具有二维周期光栅结构的配置。 =*(_sW6;
ak}ke 1. 本案例主要说明: /$qB&OWJn
如何在光栅工具箱中配置二维光栅结构,通过: ,uO?f1 - 基于介质的定义类型 Ey&A\ - 基于表面的定义类型 t P'._0n0 计算前如何改变高级选型并检查定义的结构。 AA|G&&1y
注意:在VirtualLab中,具有二维周期性的光栅结构称作3D光栅。因此,层状光栅(一维光栅)被称为2D光栅。 K#v @bu:' jxw8jo06: 2. 光栅工具箱初始化 V,7Xeh(+5L 初始化 OlW5k`B - 开始→ slA~k;K:_ 光栅→ {R~L7uR@O 一般光栅光路图(3D光栅) U z)G Y 0*OK]`9
-k,}LJjo 注意:对于特殊类型的光栅,如柱状光栅,可以直接选择特定的光路图。 d8jP@> mk-L3H1@J3 3. 光栅结构配置 (:#4{C 首先,必须先定义基底的厚度与材料 !q+
%]k?x 在VirtualLab中,光栅结构有一个所谓的堆栈进行定义 &~)1mnv. 堆栈可以附属在基底的一侧或两侧。 <UwA5X`0e. 例如,堆栈选择附属在第一表面。 rt! lc-g%/ gepYV} 基于介质的定义类型 .GDY
J9vi (例如:柱状光栅) vf<Tq 1. 堆栈编辑器 "X1{* 在堆栈编辑器中,可以从库中增加和插入界面和介质。 y9GaxW*& |