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摘 要 {c1wJ =AHV{V~ 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 Vhm^<I-d x1CMW`F 建模任务 +tlbO? FNl^ lj`Y
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R.1o 倾斜平面下的观测条纹 &t@ $]m( N7s9"i
lm'.G99{ 9 771D 圆柱面下的观测条纹 <(qdxdUp Z\?!&&
I= z+`o8 9FT==> 球面下的观测条纹 w'5W L Y k"yup@3 R, zp&L ;ZrFy=Iv VirtualLab Fusion 视窗 +hT9V1'-D (ubK
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