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摘 要 q9/v\~m \Z]+j@9 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 uYUFxm ]nTeTW 建模任务 ]ZY2\' 2zBk#c+
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Gt 倾斜平面下的观测条纹 n$/|r &K9;GZS?
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DxGiU 球面下的观测条纹 |`T(:ZKXZ2 t%=7v)IOE yE$PLM j_8 Y Fz5 VirtualLab Fusion 视窗 5PeS/%uT@ H5K
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