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摘 要 6WeM rWx i $C-)d] 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 dw9T f ^V L=]p_2+ 建模任务 '#q4Bc1 R!6=7
:RiF3h( F?BS717qS% 倾斜平面下的观测条纹 )c+k_;t'+ DZk1ZLz
Q+'nw9:;T ,F9nDF@) 圆柱面下的观测条纹 ~8{sA5y O,'#C\
{[W(a<%bXm A[)C:q, 球面下的观测条纹 2khh4?|\ ?:uNN Skxd<gv ykmv'a$-4 VirtualLab Fusion 视窗 :G=FiC
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q.W>4 k VirtualLab Fusion 技术 y}"7e)|t% 7u|B ](FS
%\6Q .V#s "HK/u(z) 文件信息 iKAusWj
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