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摘要 5Wt){rG0Z OG,P"sv 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 !d*[QD8 ${+u-Wfau
nR!e( V|7YRa@ 建模任务 :QCL9QZ' yC,/R371k `+JFvn! 仿真干涉条纹 L"L3n,%F N0U/u'J!g ::L2zVq5V 走进VirtualLab Fusion R`?l.0 +jN}d=N- f0Q6sV ZHa g;IlS*Ld VirtualLab Fusion中的工作流程 Gn]36~)*H e_vsiT •设置输入场 0P^h6Vat −基本光源模型[教程视频] WA{igj@\ •使用导入的数据自定义表面轮廓 GN.Oa$ •定义元件的位置和方向 eE;tiX/ − LPD II:位置和方向[教程视频] $|4C]Me ( •正确设置通道以进行非序列追迹 zd?@xno −非序列追迹的通道设置[用例] ZSMed(//b •使用参数运行检查影响/变化 bm588UQ −参数运行文档的使用[用例] ;`9f<d#\ &4'< |