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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 xUPg~c0  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 7yal  T.  
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    建模任务 Hv*+HUc(:  
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    仿真干涉条纹 nFjaV`6`@  
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    走进VirtualLab Fusion @`nU=kY/  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 |~+bbN|b  
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    •设置输入场 _o-01gu.  
    基本光源模型[教程视频] vv D515i  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 A<-3u  
    •定义元件的位置和方向 0BN=>]V~j7  
    LPD II:位置和方向[教程视频] >Ft:&N9L{  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 ,[u.5vC  
    非序列追迹的通道设置[用例] &ZJ$V  
    •使用参数运行检查影响/变化 ]eI|_O^u  
    参数运行文档的使用[用例] %.s"l6 W  
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    VirtualLab Fusion技术 Cdc=1,U(  
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    文件信息 QKh vP>  
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