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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 9/;P->wy  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 C-[1iW'  
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    走进VirtualLab Fusion A9JdU&  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 _~ &iq1  
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    •设置输入场 nLiY%x`S  
    基本光源模型[教程视频] W];dD$Oqg  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 V!dtF,tH  
    •定义元件的位置和方向 &I406Z f7y  
    LPD II:位置和方向[教程视频] `#gie$B{  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 'eX '  
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    •使用参数运行检查影响/变化 +U.I( 83F  
    参数运行文档的使用[用例] J'2X&2  
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