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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 =s:Z-*vy!  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 %y+v0.aWH+  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 Dd:48sN:Jq  
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    •设置输入场 gS!zaD7Nr  
    基本光源模型[教程视频] 3g3Znb  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 r:t3Kf`+E-  
    •定义元件的位置和方向 <@>l9_=R  
    LPD II:位置和方向[教程视频] >%c>R'~h  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 .6pVt_f0/  
    非序列追迹的通道设置[用例] ]&"01M~+K  
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