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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 V~p01f"J  
    "blq)qo)  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 `!$6F:d_l  
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    仿真干涉条纹 * V7mM?  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 6 &0r/r  
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    •设置输入场 ^2);*X>  
    基本光源模型[教程视频] [T,Hpt  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 v0VQ4>  
    •定义元件的位置和方向 Rk7F;2  
    LPD II:位置和方向[教程视频] ^lt2,x   
    •正确设置通道以进行非序列追迹 qZ'2M.;  
    非序列追迹的通道设置[用例] yo/;@}g}  
    •使用参数运行检查影响/变化 =yz"xWH  
    参数运行文档的使用[用例] g(W+[kj)  
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    VirtualLab Fusion技术 qB (Pqv  
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    文件信息 pZ}B/j  
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