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摘要 f$>KTb({B $8> k k 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 R?{f:,3R =/5^/vwgY
 G FGW'}w- ycq+C8J+Ep 建模任务 ! $u:[T_8 0oK_u Y
4g 35Ro8 5j 仿真干涉条纹 8 :t!m>( * rEHlo[ 7^ .;\ uh$ c 走进VirtualLab Fusion F(O"S@ W Og pDs  knfEb H s(Y2]X4
( VirtualLab Fusion中的工作流程 KvjsibI/Y 2Tp @;[!3 •设置输入场 Nl] _Ie6
−基本光源模型[教程视频] o75l&`
•使用导入的数据自定义表面轮廓 Ql i#=0{`
•定义元件的位置和方向 aT4I sPA?_
− LPD II：位置和方向[教程视频] 4A0v>G`E*#
•正确设置通道以进行非序列追迹 YsO3( HS
−非序列追迹的通道设置[用例] 3A cS$.G
•使用参数运行检查影响/变化 a B$x(8pP@
−参数运行文档的使用[用例] )%q!XM
Qz4eQlWhp  B?%e-xV- dVMduo VirtualLab Fusion技术 4A`U [r_>D S5BS
