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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 ]PS`"o,pF$  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ;wwc;wQ'  
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    建模任务 ~HmH#"VP  
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    仿真干涉条纹 <K0epED  
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    走进VirtualLab Fusion _,drOF|e  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 #*g=F4>t  
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    •设置输入场 ep6+YK:cn  
    −基本光源模型[教程视频] L$5,RUy  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 n{gEIUo#  
    •定义元件的位置和方向 {w2] Is2F  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] WFF?VBT'^  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 :;_ khno  
    −非序列追迹的通道设置[用例] zM0}(5$m  
    •使用参数运行检查影响/变化 |0[Buh[_:c  
    −参数运行文档的使用[用例] x_Ev2 c'4  
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    VirtualLab Fusion技术  W9?* ~!  
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    文件信息 rg^\gE6_  
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