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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 BnLM;5 >  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 ;_.%S*W\  
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    仿真干涉条纹 Ix;9D'^}  
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    走进VirtualLab Fusion Ylc[ghx  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 o<*H!oyP\  
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    •设置输入场 fh0a "#L{  
    −基本光源模型[教程视频] $YM>HZe-  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 *CHLs^)   
    •定义元件的位置和方向 cr{;gP  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] zFy0Sz F  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 %1uY  
    −非序列追迹的通道设置[用例] CzF#feTA  
    •使用参数运行检查影响/变化 N|n"JKw)  
    −参数运行文档的使用[用例] [xF(t @p  
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    VirtualLab Fusion技术 ]V,wIy C  
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    文件信息 9o|=n'o  
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