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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 LZbHK.G=  
    ,&l*AB!  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 +fR`@HI  
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    仿真干涉条纹 VrL>0d&d  
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    走进VirtualLab Fusion U"G+su->e  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 {8Nd-WJ{  
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    •设置输入场 TZ]Gl4 @  
    −基本光源模型[教程视频] qq{N; C  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 |#kf.kN  
    •定义元件的位置和方向 ]h8V{%H  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] Yx/~8K_%M?  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 'bO? =+c  
    −非序列追迹的通道设置[用例] J4^cd  
    •使用参数运行检查影响/变化 D[y|y 3F  
    −参数运行文档的使用[用例] C&"2`ll  
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    VirtualLab Fusion技术 8jx1W9=`9[  
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