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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 5"I8ric  
    J^<}fRw  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Zdll}nO"E  
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    建模任务 6]5e(J{Fz  
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    仿真干涉条纹 tc<ly{ 1c  
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    走进VirtualLab Fusion tw%z!u[a  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 SdQ"S-H  
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    •设置输入场 LyA}Nd]pyq  
    −基本光源模型[教程视频] i*ErxWzu  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 S"G`j!m1  
    •定义元件的位置和方向 ;f+bIYQz  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] X4Y!Z/b  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 nH7i)!cI~  
    −非序列追迹的通道设置[用例] hqVxvS"  
    •使用参数运行检查影响/变化 we;QrS(Hi  
    −参数运行文档的使用[用例] !,zRg5Wp4  
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    z*B-`i.  
    VirtualLab Fusion技术 K \_JG $(9  
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