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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 iOd&B B6  
    hi_NOx  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 kYzIp  
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    建模任务 B{QBzx1L9c  
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    仿真干涉条纹 +^` I?1\UF  
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    走进VirtualLab Fusion 2Z+Wu3#  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 e),q0%5  
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    •设置输入场 \Z?9{J  
    基本光源模型[教程视频] prWk2_D;*  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 ] ]u s %  
    •定义元件的位置和方向 f/U`  
    LPD II:位置和方向[教程视频] 6LvW?z(J  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 k9<;woOBO  
    非序列追迹的通道设置[用例] $jjfC  
    •使用参数运行检查影响/变化 AuvkecuIh  
    参数运行文档的使用[用例] +KF^Z$I  
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    VirtualLab Fusion技术 3OrczJ=[UF  
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    文件信息 /fKx} }g)  
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