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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 m|OB_[9  
    >V\^oh)t]t  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 f)r6F JLU  
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    走进VirtualLab Fusion NnU`u.$D  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 @:>gRD  
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    •设置输入场 <jM { <8-  
    基本光源模型[教程视频] G68@(<<Z  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 MY}K.^ 4^  
    •定义元件的位置和方向 uotW[L9  
    LPD II:位置和方向[教程视频] 3Y&4yIx  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 Cbm^: _LR  
    非序列追迹的通道设置[用例] 6)20%*[  
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    U;!J(Us  
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