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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-18
    摘要 =6fB*bNk]  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 [<Q4U{F  
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    走进VirtualLab Fusion aDh|48}X  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 Fo(y7$33*  
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    •设置输入场 ;P8(Zf3wJb  
    基本光源模型[教程视频] dWUUxKC  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 5e8xKL  
    •定义元件的位置和方向 Cdmy.gx^  
    LPD II:位置和方向[教程视频] ($'V& x8T  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 8gAu7\p}  
    非序列追迹的通道设置[用例] mqw 84u  
    •使用参数运行检查影响/变化 hJLT!33:  
    参数运行文档的使用[用例] ?M~  k$  
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    VirtualLab Fusion技术 *E7R(#,yC  
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    文件信息 O+b6lg)q  
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    -   Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration e5 3,Rqi)@  
    -   Mach-Zehnder Interferometer 7D9]R#-K  
    -   Fizeau Interferometer for Optical Testing
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