摘要 <jQ?l%\ gpe^G64c` 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
Y>{K2#k 0~H(GG$VH #q%xJ[ QSW62]=vV 建模任务 {%'(IJ|5z
amK?LDf]
DHW;*A- M ZB0vdx 1阶的参数优化 xXE/pIXw
3lqR(Hh3
zJOjc/\
0iinr:=u 结果-容差分析 Di<KRg1W]}
E#`=xg
Xlp u_H| |rka/_ 结果-容差分析
5 .
5
><viJ$i
;WC]Lf<Z^ j08}5Eo 在VirtualLab Fusion中查看 iJk`{P _ QDRSQ[ \ ~&[Wqn@MZ Vz!W(+ VirtualLab Fusion的工作流程 .dt7b4.kd &/d;4Eu •构造光栅结构
t?L;k+sMM -
使用特殊介质配置光栅结构[用例]
V]tucs -
倾斜光栅的高级配置[用例]
N0oBtGb •分析光栅衍射效率
}+h/2D - 光栅级次分析器[用例]
\C5 YVl# •使用参数优化优化光栅参数
Eg-3GkC •使用参数运行进行容差分析
UJ1iXV[h" -
参数运行文档的用法[用例]
?1K|.lr ,`v)nwP aB;syl{ 8 sZ~3 VirtualLab Fusion技术 UM(tM9
jxU1u"WU
UB }n= ~Jrtm7 文件信息 nR-`;lrF~ cu5Yvp r5h}o)J 软件咨询QQ:939912426