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摘要 w(t1m]pF[ 5MZv!N 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ,j\uvi(Y * LWihal
`T ^0&# Gm=&[?} 建模任务 FeQo,a PYY<
mqUDve( Fm6]mz%~u# 正弦光栅—效率与高度(TEA) 0Js5 '
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Tyb'p9 QtWe,+WWV 正弦光栅—透射相位曲线 \F\7*=xk '&K' 0qG
SMRCG"3qwA g2'K3e?.% 正弦光栅—透射相位曲线 !8W0XUqh+ 7^UY%t
W[]|Uu/% 3pL4Zhf 正弦光栅—衍射效率 M(C}2.20 )hoVB
h^`@%g9 S gSyBoY 正弦光栅—效率与周期 KM"?l<x0Y i.?rom
9L4;#cy >c5 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 xXmlHo<D TeR bW
H_Sv,lwz;c e7&RZ+s#wZ 闪耀光栅—效率与高度(TEA) Sz')1< )"M;7W?R0
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6aD3?8LN 闪耀光栅—透射相位曲线 `_ZbA#R, $*P+
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s*i,Ph ]; g~)z VirtualLab Fusion一瞥 c5O8,sT Txpj#JD
bmKvvq {`J!DFfur VirtualLab Fusion工作流程
z{V#_( n%~r^C_ )fS6H<* • 设置光栅结构 a_b+RMy −使用界面配置光栅结构[用户案例] Y( K`3?A • 分析光栅衍射效率 Py+ B 2G| −光栅阶次分析器[用户案例] a8k`Wog • 通过参数运行检查不同参数的影响 aE"dpYQ − 利用参数运行文档[用户案例] j"zW0g!S $~
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[=Nv=d<[p j-FMWEp VirtualLab Fusion技术 ~HtD]|7 o4z|XhLr
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