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摘要 [B,w\PLub t4P`#,:8 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 H:k?#7D( %6%~`((4 IW{}l=D/ AL;z's(F? 建模任务 Lhz*o6) rsaN<6#_^Q +v.<Fw2k# h]>QGX[kC 正弦光栅—效率与高度(TEA) vmj'X>Q {O=PVW2S f'oO/0lx Ct<]('Hm( 正弦光栅—透射相位曲线 8)o%0#;0B CiNOGSlDj
F%tV^$% Dx5X6 t9= 正弦光栅—透射相位曲线 M/mm2?4 LsI8T
uv nf0]<x2 Q;xJ/4 Z" 正弦光栅—衍射效率 }`~n$OVx Ht"?ajW{ B6 yTD7 6KRC_- 正弦光栅—效率与周期 Tpd|+60g t+ vz=` 9Rm\@E
[ 0sA+5*mdM 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ;I/ A8<C W>j@E|m$ sxn{uRF KjNA PfL 闪耀光栅—效率与高度(TEA) 4Jf9N' X5tx(}j
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:NH VirtualLab Fusion一瞥 =NmW}x|n @'9m()%-]g ,`bmue5 ,M9e * VirtualLab Fusion工作流程 X;1yQ|su Q2!5 3rY\y+m • 设置光栅结构 suS[P?4 −使用界面配置光栅结构[用户案例] M@z_tR'3\ • 分析光栅衍射效率 j5[Y0)pV\ −光栅阶次分析器[用户案例] O6ph_$nt. • 通过参数运行检查不同参数的影响 Q5b9q$L$ − 利用参数运行文档[用户案例] edo+ o{^ zI0d 9a]{|M9 #jh5% @ VirtualLab Fusion技术 #aQQd8 |BUgsE -xG6J.S Eq%f`Qg+1E 文件信息 U:z5`z! e#)NYcr6 Bf.iRh0Q5 snWe& |