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摘要 8W9kd"=U
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 !D!Q]M5oU
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R<(kiD\?] VirtualLab Fusion一瞥 ~C M%WvS
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 3kqO5+,C "}ibH{$lM VirtualLab Fusion工作流程 RBu erap E&>3 {uZI )bqSM&S O
• 设置光栅结构 ^i+ d 3
−使用界面配置光栅结构[用户案例] 7 6 nrDE
• 分析光栅衍射效率 (dvsGYT|.
−光栅阶次分析器[用户案例] zy8Z68%E`*
• 通过参数运行检查不同参数的影响 }OZut! _
− 利用参数运行文档[用户案例] zP554Gr ?
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 v X?MB <e&88 {jJ VirtualLab Fusion技术 -nK\+bTL}
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