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摘要 &A~hM[-
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 _3q}K
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4*#QtO uz h TNf VirtualLab Fusion工作流程 c )=a;_h \"w+ 4 } Rw hKW?r+
• 设置光栅结构 2w fkXS=~6
−使用界面配置光栅结构[用户案例] <k {_YRB
• 分析光栅衍射效率 }z q o<o
−光栅阶次分析器[用户案例] UhJ!7Ws$
• 通过参数运行检查不同参数的影响 |(CgX6 l3
− 利用参数运行文档[用户案例] q *kLi~ Oe
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