[求助]关于PMMA镀膜问题 [复制链接]

请教下群里的大佬，我在做PMMA镀分光膜的时候，9层膜系  ti2o5  大概250nm  科达公司的硅铝混合物大概500nm，速率分别为2.5和5.0   离子源是霍尔源，不加温，镀后测温仪显示50度，但是放上去的片子还是会有轻微变形呢？基材尺寸是80*80*1.0的，后面我该怎么调整呢？ !_]Y~[  
外面采购的镀膜四个侧边没有电子枪蒸镀产生的扩散印记，除了电子枪蒸镀还有什么办法做这个产品的AR膜和分光膜吗？

对，进行两面镀膜，还有就是匹配好基板和膜层间的应力

一般这种情况我们会两面镀，这样两面应力能够抵消。

ouyuu:http://www.opticsky.cn/job.php?action=download&aid=105794 44J]I\+  
关于应力你可以看下资料，并不是温度越低越好。 (2021-02-19 23:39)  M.JA.I@XC  

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这个文章我阅读过了，目前已经解决了这个难题，影响的因素很多，么办法说准确的就是降低离子能量就一定会好，一定程度和基底的残余应力有相当的关系。

ouyuu:http://www.opticsky.cn/job.php?action=download&aid=105794 qfF~D0}  
关于应力你可以看下资料，并不是温度越低越好。 (2021-02-19 23:39)  |*Yr<zt  

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非常感谢

http://www.opticsky.cn/job.php?action=download&aid=105794 @/~omg}R  
关于应力你可以看下资料，并不是温度越低越好。

片子尺寸大厚度薄，应该是膜层应力作用导致片子变形

ouyuu:离子源和电子枪对板子都有加热作用。 uc{Ihw  
还有就是膜本身的应力作用也会造成板子变形。 5~U/  
你两面都镀一下看看 (2021-02-10 03:29)  (Rh,,  

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我现在尝试了很多种办法，最可疑的是我低温不加离子源也是会变形的，我现在怀疑冷却水流速压力不够，0.3是否需要提高到0.4，另一则，我腔体、门上和工架伞都包了锡纸了，是不是间接的把辐射都给了镜片了，不知道有影响不

离子源和电子枪对板子都有加热作用。 rKc9b<Ir  
还有就是膜本身的应力作用也会造成板子变形。 sdrfsrNvB-  
你两面都镀一下看看

我看到好多资料有提到退火一说，这个我镀前镀后  80度  2h也没有什么变化