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    [求助]关于PMMA镀膜问题 [复制链接]

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    离线15694227112
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-09
    请教下群里的大佬，我在做PMMA镀分光膜的时候，9层膜系  ti2o5  大概250nm  科达公司的硅铝混合物大概500nm，速率分别为2.5和5.0   离子源是霍尔源，不加温，镀后测温仪显示50度，但是放上去的片子还是会有轻微变形呢？基材尺寸是80*80*1.0的，后面我该怎么调整呢？ f3t. T=S  
    外面采购的镀膜四个侧边没有电子枪蒸镀产生的扩散印记，除了电子枪蒸镀还有什么办法做这个产品的AR膜和分光膜吗？
    本帖提到的人: @dumoty
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2021-02-09
    我看到好多资料有提到退火一说，这个我镀前镀后  80度  2h也没有什么变化
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    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2021-02-10
    离子源和电子枪对板子都有加热作用。  0Ve%.k  
    还有就是膜本身的应力作用也会造成板子变形。 VF= Z`  
    你两面都镀一下看看
    共1条评分 ，光币+5
    cyqdesign 光币 +5 热心助人，鼓励！ 2021-02-10
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    离线15694227112
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    只看该作者 3楼 发表于: 2021-02-13
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:离子源和电子枪对板子都有加热作用。 tO`?{?W7  
    还有就是膜本身的应力作用也会造成板子变形。 }\VX^{K j  
    你两面都镀一下看看 (2021-02-10 03:29)  wB 2}uk7  
    ;.AV;C"  
    我现在尝试了很多种办法，最可疑的是我低温不加离子源也是会变形的，我现在怀疑冷却水流速压力不够，0.3是否需要提高到0.4，另一则，我腔体、门上和工架伞都包了锡纸了，是不是间接的把辐射都给了镜片了，不知道有影响不
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    离线casix9489
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    只看该作者 4楼 发表于: 2021-02-19
    片子尺寸大厚度薄，应该是膜层应力作用导致片子变形
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    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2021-02-19
    http://www.opticsky.cn/job.php?action=download&aid=105794 Bqp&2zg)@  
    关于应力你可以看下资料，并不是温度越低越好。
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    离线15694227112
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    只看该作者 6楼 发表于: 2021-03-02
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:http://www.opticsky.cn/job.php?action=download&aid=105794 T4l-sJ'|  
    关于应力你可以看下资料，并不是温度越低越好。 (2021-02-19 23:39)  yB|]LYh  
    A<a2TXcIE3  
    非常感谢
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    离线15694227112
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    只看该作者 7楼 发表于: 2021-03-02
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:http://www.opticsky.cn/job.php?action=download&aid=105794 Q>cL?ie  
    关于应力你可以看下资料，并不是温度越低越好。 (2021-02-19 23:39)  50}.Xm@,BO  
    Y8x(#qp,  
    这个文章我阅读过了，目前已经解决了这个难题，影响的因素很多，么办法说准确的就是降低离子能量就一定会好，一定程度和基底的残余应力有相当的关系。
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    离线ouyuu
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    只看该作者 8楼 发表于: 2021-03-06
    一般这种情况我们会两面镀，这样两面应力能够抵消。
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    离线tony肖
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    只看该作者 9楼 发表于: 2021-06-22
    对，进行两面镀膜，还有就是匹配好基板和膜层间的应力
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