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摘要 M0e|G.S&_ \xZBu" 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 c+{4C3z q{ 1U >PVi 3S Ju[`Qw`I 设计任务 #G=QL(f>/ 6V?RES;X
7jbmw<d)9 -YyH"f 仅位相透射设计(IFTA) z{jAt6@7 T!A}ipqb
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EXcj F 超表面晶胞分析 kAliCD) &FVlTo1
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,O)\,tg <'_GQM`G 初始超表面设计的评估 05 Q8` RT"2Us]*
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