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摘要 W2$rC5| $?:IRgAr 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 j+AZ!$E RDQ]_wsyKG Dn#5H{D-d x7l}u`N4 设计任务 tQ'R(H` 3kGg;z6
}mZCQJ#` .uX(-8n ~ 仅位相透射设计(IFTA) L&NpC&>wD Ux"
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Fv/{)H<:y IhSXU<] 仅位相透射设计(IFTA) 5B8/"G ;2fzA<RkK
~/SLGyu ^HP$r* 超表面晶胞分析 |yOIC,5[JW Fgwe`[
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