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摘要 bvn%E
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0)i 与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 jR1t&UD3Y )c*NS7D~f 8.JFQ/)i 1'Sr0
oEd3 设计任务 C.]\ 4e [u*-~(
>I*)0tE b-!+Q) 仅位相透射设计(IFTA) R%Xhdcn7 [Ey[A|g
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_L8|ZV./ M$J{clr 超表面晶胞分析 y-#{v.|L Df hu
R;d)I^@ LK>AC9ak< 构建超光栅 srL|Y&8 p 4e`GMtp
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LC>bZ!(i# %>io$ o 优化超光栅设计的评估 2|a5xTzH 2K:Rrn/cR
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