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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 g(F2IpUm/  
     BK.RYSN  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 PJh97%7  
    JgldC[|7  
     ?Xp+5{  
    )VG_Y9;Xk:  
    建模任务 (Q|Y*yI  
    Bf,}mCq  
     pTYV@5|  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) HDhG1B"NL  
     %1i *Y*wg  
    某一位置的Talbot图样 h{PJ4U{W  
    ?bG82@-  
     ?&b"/sRS  
       =?hbi]  
    某一位置的Talbot图样 tkdyR1-  
    YgkQF0+  
     (`f)Tt=`  
    (=s%>lW|  
    不同位置的Talbot图样 DEenvS`,P  
    w< |Lx#L}  
     B=i%Z _r]w  
    rT{ 2  
    不同位置的Talbot图样 TyaK_XW  
    #XAH`L\  
     y)`q% J&  
    mgBxcmv  
    沿Z轴的强度 x=44ITe1n[  
    i]zTY\gw8M  
     [\"<=lb`  
    \H/}| ^+@  
    走进VirtualLab Fusion PW-sF  
    yL3F  
     z`|E0~{-  
    ??Dv\yLZI  
    VirtualLab Fusion的工作流程 m^a0JR}u9  
    fH_Xm :%  
     构建光栅结构 `?vI_>md'!  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Qlhm:[  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] R!_1*H$  
    qo}u(p Oj|  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Dl=vv9  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 8EZ,hY^  
    +PHuQ  
    toC|vn&P  
    G)7J$4R  
    VirtualLab Fusion技术 ch0x*[N@  
    1.z !u%2  
     SQf.R%cg$  
       N_y#Y{c{(  
    文件信息 s Qa9M  
    ltmD=-]G_  
     :j% B(@b  
    D?9EO=  
    延伸阅读 Y/34~lhyl  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     {=kW?  
    - 光栅级次分析器 &}lRij&`  
    - Talbot效应的建模 3_c4+u"6  
    Zq\ p%AU9  
     |>=\ VX17  
    有什么问题可以添加微信~ x!9bvQT  
    yI*h"?7T  
     %967#XI[y  
     
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