先进光学元件微纳制造与精密检测技术

发布:cyqdesign 2021-01-13 12:43 阅读:1882
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。  j2l55@  
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《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 9@ 16w  
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目录 SJt<+kg  
第1章 绪论 J?UQJ&!@O  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 RP5+d  
1.1.1 先进光学元件的特点 dsx]/49<  
1.1.2 先进光学元件的应用 s@hRqGd:  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 P^`duZ{T  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 OS|>t./U  
1.2 先进光学元件的制造技术 ^D`v3d  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 3bZIYF2@  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 Wo~vhv$E  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 l7{oi!   
1.2.4 光学元件精密研抛技术 /walu+]h  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 JO<wK  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 !\8  ;d8  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 7pA /   
1.3.2 光学元件的检测技术 >odbOi+X  
1.3.3 光学误差的评价方法 %1 vsN-O}8  
参考文献 A\_|un%  
54-#QIx|  
第2章 先进光学元件加工装备技术 +ISz?~8  
2.1 机床设计理论 Io4(f  
2.1.1 机床设计要求 m'\2:mDu0  
2.1.2 机床设计方法 $D v\ e  
2.2 超精密机床关键部件及技术 r;L>.wl*I  
2.2.1 主轴部件 h_1T,f (  
2.2.2 直线导轨部件 gBh;=vOD  
2.2.3 微位移进给部件 /&F,V+x  
2.3 超精密机床数控技术 '0y9MXRT  
2.3.1 数控技术 iRg7*MQu  
2.3.2 超精密加工数控系统 ~_s?k3cd  
2.3.3 开放式数控系统 N>(g?A; Z+  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 5zFR7/p{  
2.4 超精密磨削加工装备 ZCKka0*  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 b"!Q2S~  
2.4.2 超精密磨削成形机床 *BuUHjTv  
2.5 超精密加工工具技术 \Y6WSj?E  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 c|F[.;cR  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 p~noM/*2r  
参考文献 7\*FEjRM]  
M?&h~V1OI~  
第3章 先进光学元件磨削技术 C2Xd?d  
3.1 超精密磨削加工发展 E*L iM5+I  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 OGl$W>w1  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 !T](Udf  
3.2 超精密磨削过程分析 HV6f@  
3.2.1 超精密磨削机理 upj]6f"(  
3.2.2 磨削过程基本参数 "qc6=:y}  
3.3 超精密磨削加工关键技术 z'uK3ng\hH  
3.4 砂轮修整 U=hlu  
3.4.1 杯形砂轮修整 #Z6'?p9  
3.4.2 ELID在线电解修整 CPg+f1K  
3.4.3 放电修整 dlhdsj:  
3.4.4 激光修整 "D?z  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 EkGQ(fZ1|  
3.5 非球面磨削加工技术 F u&EhGm6  
3.5.1 微小非球面加工技术 JXyM\}9-X  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 ynA|}X  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 G$ _yy:  
3.6 工艺软件设计开发 dnV[ P  
3.6.1 数控编程格式 DJgTA]$&  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 lA>DS#_  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 )_/5*Ly@  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 yHxosxd<*  
3.8 加工实例 A^q[N  
参考文献 k)TSR5A  
$Of0n` e  
第4章 先进光学元件抛光技术 !"8fdSfg w  
4.1 超精密抛光加工发展 p~*UpU8u  
4.2 平面光学元件抛光技术 ,t\* ZTt$  
4.2.1 平面抛光原理 \GHiLs,!  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 V+I|1{@i0  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 `7/Y@}n  
4.3 非球面光学元件抛光技术 H\XP\4#u  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 4)1s M=u  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 &QhX1dT+  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 i hh/sPi  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 sZW^ !z  
参考文献 1Bpv"67  
5uxBK"q  
第5章 先进光学元件精密检测技术 =0;^(/1Mc  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 ?_I[,N?@41  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 765p/**  
5.1.2 长行程轮廓检测法 SJIOI@\b  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 4wrk2x[  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 hAHq\  
5.2.1 零位干涉检测技术 6M13f@v  
5.2.2 非零位干涉检测技术 u%.$BD Hg  
5.3 光学非球面精密检测平台 -WYAN:s  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 @xB*KyUW  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 yRo- EP  
参考文献 ?.D3'qv  
|g=="  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 byv[yGa`  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 b$Vz2Fzx  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 hGiz)v~  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 -%L6#4m4o  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 @-+Q# Zz`  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 A<W 6=5h  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 RIIitgV_  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 Y+Fljr*  
6.3.1 数据处理系统总体设计 NMA}Q$o s  
6.3.2 数据预处理 YfRkwKjy(  
6.3.3 误差补偿及结果 C:Hoq(  
参考文献 wQRZ"ri,  
e*L.U~ZR  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 T8^5=/  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 E8-P"`Qba  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 lGVEpCS}  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 4fe7U=#;Y  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 3;a<_cE*@  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 $ aUo aI  
7.2.2 加工环境无线监控对象 HeG)/W?r  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 VO"("7L  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 C*`mM'#  
7.3.1 系统硬件组成 w+N> h;j  
7.3.2 系统软件组成 s M+WkN}{  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 Aj0Tfdxy  
参考文献 Q9Q|lO  
og0*Nt+  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 Qci4J  
8.1 亚表面损伤概述 nB!&Zq  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 aJcf`<p   
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 b?Ki;[+O  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 1|ra&(=)  
8.2 亚表面损伤的形成机理 u?+Kkkk  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 c_V;DcZ  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 eGX %KT"O  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 I}t#%/'YA  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 `(3/$%  
8.3.1 损伤性检测技术 . Z%{'CC  
8.3.2 无损检测技术 lIProF0  
8.3.3 亚表面损伤的评价 (`:O~>[N  
8.3.4 亚表面损伤的预测 1Uqu> '  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 >$ e9igwe  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 q=#} yEG  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 W>O~-2  
参考文献 65Cg]Dt71  
E>}4$q[r  
关键词: 光学元件
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