先进光学元件微纳制造与精密检测技术

发布:cyqdesign 2021-01-13 12:43 阅读:1683
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 +P|Z1a -jB  
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《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 @WTzFjv@?4  
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1+9}Xnxb  
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目录 w'&QNm>  
第1章 绪论  Fm`c  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 iu'At7  
1.1.1 先进光学元件的特点 ;hCUy=m.  
1.1.2 先进光学元件的应用 _.+2sm   
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 -^WW7 g`  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 66l+cb  
1.2 先进光学元件的制造技术 t$(<9  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 `Oe"s_O#  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 2SJ|$VsLaE  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 #OVS]Asn}  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 W3]?>sLE*  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 J9q[u[QZ9O  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 A9kn\U92  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 \PM5B"MDZ  
1.3.2 光学元件的检测技术 ^$~&e :{  
1.3.3 光学误差的评价方法 MxLi'R=  
参考文献 r(p@{L185  
yBnUz"  
第2章 先进光学元件加工装备技术 UsnIx54D3  
2.1 机床设计理论 RFT`r  
2.1.1 机床设计要求 zTW)SX_O  
2.1.2 机床设计方法 68nBc~iAm  
2.2 超精密机床关键部件及技术 @0fiui_  
2.2.1 主轴部件 1aS66TS3  
2.2.2 直线导轨部件 WNo<0|X  
2.2.3 微位移进给部件 7qEc9S@  
2.3 超精密机床数控技术 #s0Wx47~  
2.3.1 数控技术 Ry"N_Fb  
2.3.2 超精密加工数控系统 xM D]b  
2.3.3 开放式数控系统 \><v1x>;  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 W ,|JocDq  
2.4 超精密磨削加工装备 ;\rKkH"K8n  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 d5l].%~  
2.4.2 超精密磨削成形机床 3AcCa>  
2.5 超精密加工工具技术 1MxO((k  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 BB3wG*q  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 V[avV*;3i  
参考文献 -(l/.yE{X  
{]3Rk  
第3章 先进光学元件磨削技术 :i/uRR  
3.1 超精密磨削加工发展 xF7q9'/F  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 i~uoK7o|G  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 nPj &a  
3.2 超精密磨削过程分析 1Gh3o}z  
3.2.1 超精密磨削机理 t+2,;G  
3.2.2 磨削过程基本参数 N\W4LO6  
3.3 超精密磨削加工关键技术 k?qd -_sC  
3.4 砂轮修整 VTs ,Ln!,U  
3.4.1 杯形砂轮修整 Ou wEO   
3.4.2 ELID在线电解修整 s#%P9A  
3.4.3 放电修整 SEsLJ?Dv0  
3.4.4 激光修整 "Is0:au+?}  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 +~!\;71:f  
3.5 非球面磨削加工技术 Ct0YwIR*  
3.5.1 微小非球面加工技术 TY]-L1$  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 o 76QQ+hP  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 } .'\IR  
3.6 工艺软件设计开发 z-`-0@/A$  
3.6.1 数控编程格式 w0Y V87  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 mH5[(?   
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 T5? eb"  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 BiCC72oig  
3.8 加工实例 CINC1Ll_24  
参考文献 wSIfqf+y  
aT20FEZ;  
第4章 先进光学元件抛光技术 q !Nb-O{  
4.1 超精密抛光加工发展 &b!|Y  
4.2 平面光学元件抛光技术 yvt :/X  
4.2.1 平面抛光原理 }e4#Mx  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 tP0!TkTo9  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 {B)-+0 6  
4.3 非球面光学元件抛光技术 6*%E4#4  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 =`fz#Mfd  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制  ];hK5  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 oz#;7 ?9  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 uM74X^U  
参考文献 H3Sfz'  
Olltu"u  
第5章 先进光学元件精密检测技术 *?s"~ XVs  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 ^>tqg^  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 8|H^u6+yz  
5.1.2 长行程轮廓检测法 :%kJ9zW  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 dBM> ;S;v  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 U!Eo*?LU$  
5.2.1 零位干涉检测技术 m5KAKpCR,  
5.2.2 非零位干涉检测技术 _~a5;[~  
5.3 光学非球面精密检测平台 PBY ^m+  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 tk~<tqMq  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 Z!SFJ{  
参考文献 Ub| -Q  
7B8.;0X$W  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 cH{[\F"Eb  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 X+;{&Efrl  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 ZD t|g^  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 6Cz%i 6)  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 ~Lf>/w  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 SVj4K \F  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 (5R_q.Wu  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 _1U7@v:<@  
6.3.1 数据处理系统总体设计 bZ_vb? n  
6.3.2 数据预处理 J~(M%] &k^  
6.3.3 误差补偿及结果 {*Tnl-m~  
参考文献 |8s45g>  
&HIG776  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 ?TEdGe\*  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 i\94e{uty[  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 #(f- cK  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 6gN>P%n  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 'Nn>W5#))  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 uszH1@g'  
7.2.2 加工环境无线监控对象 kNDN<L  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 OF/DI)j3  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 z4iZE*ZS  
7.3.1 系统硬件组成 aH+n]J] =)  
7.3.2 系统软件组成 `6BjNV  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 !3T,{:gyrI  
参考文献  1@p'><\  
4E~!$Ustx  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 o u*`~K|R  
8.1 亚表面损伤概述 H<wrusRg  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 xXn2M*g  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 @A;Ouu(  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 DP<[Uz&  
8.2 亚表面损伤的形成机理 PS3%V_2  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 |JRaskd  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 ?)i`)mu'  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 t $yt8#Tk  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 NP< {WL#  
8.3.1 损伤性检测技术 HMrl!;:  
8.3.2 无损检测技术 %jRqrICd  
8.3.3 亚表面损伤的评价 T3#KuiwU9  
8.3.4 亚表面损伤的预测 Y[WL}:"93  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 zy!mP  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 c"x-_Uk  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 %}x$YD O  
参考文献 cJ#|mzup  
B9(e"cMm  
关键词: 光学元件
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