先进光学元件微纳制造与精密检测技术

《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表，完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统；重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术；围绕实现确定性抛光，详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术；介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术，加工轨迹规划原理和数据处理方法，以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 DWar3+u&0  
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《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富，理论分析深入，既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展，又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果，对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 pr"~W8  
@D&}ZV=J  
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目录 7S]akcT/  
第1章 绪论 `Ot;KDz  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 T,Zfz9{n  
1.1.1 先进光学元件的特点 x4bj?=+  
1.1.2 先进光学元件的应用 %'i`Chc^!;  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 i_
qR&X  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 095ZZ20  
1.2 先进光学元件的制造技术 1W2hd!J7C  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 "G @(AE(  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 TYh_uox6  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 B[6y2+6$0  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 aJ}Cqk  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 +zLh<q0  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 JRl`evTS  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 3XomnL{  
1.3.2 光学元件的检测技术 h\qM5Qx+Q  
1.3.3 光学误差的评价方法 ZQPv@6+oY  
参考文献  } h0 )  
~Uw<E:?v  
第2章 先进光学元件加工装备技术 $j!VJGVG  
2.1 机床设计理论 H-aSLc  
2.1.1 机床设计要求 X$4 5<oz  
2.1.2 机床设计方法 an9k2F.)  
2.2 超精密机床关键部件及技术 D%k]D/  
2.2.1 主轴部件 jI9Kn41  
2.2.2 直线导轨部件 c|^#v8x^/  
2.2.3 微位移进给部件 $f^ \fa[  
2.3 超精密机床数控技术 s9-aPcA  
2.3.1 数控技术 *w;=o}`  
2.3.2 超精密加工数控系统
r% ]^(  
2.3.3 开放式数控系统 2K1odqO#  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 'v*Y7zZ#K  
2.4 超精密磨削加工装备 /_G^d1T1?L  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 }TS4D={1  
2.4.2 超精密磨削成形机床 m;"i4!  
2.5 超精密加工工具技术 d,9YrwbD
 
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 QjlwT2o'  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 ")87GQ(R  
参考文献 " %)zTH  
#YMU}4=:  
第3章 先进光学元件磨削技术 pK~K>8\  
3.1 超精密磨削加工发展 AK*F,H9  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 O1_dA%m  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 i; 3^vhbQ  
3.2 超精密磨削过程分析 aN5w  
3.2.1 超精密磨削机理 5-ju5z?=  
3.2.2 磨削过程基本参数 $`&uu  
3.3 超精密磨削加工关键技术 C
4jqT  
3.4 砂轮修整 YQI&8~z  
3.4.1 杯形砂轮修整 ,^UNQO*{GI  
3.4.2 ELID在线电解修整 <"" fJ`7  
3.4.3 放电修整 Iw0Q1bK(  
3.4.4 激光修整 !?7c2QRN  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 _lE0_X|d  
3.5 非球面磨削加工技术 J c~{ E  
3.5.1 微小非球面加工技术 .D`""up|{  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 \*V`w@
  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 qdFYf/y  
3.6 工艺软件设计开发 B>CG/]  
3.6.1 数控编程格式 c?NXX&  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 Gn*vVZ@`x  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例
{T]^C  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 6^]Y])  
3.8 加工实例 EfR3$sp  
参考文献 iJza zQ  
*@|EaH/  
第4章 先进光学元件抛光技术 ? D?XaRb  
4.1 超精密抛光加工发展 *k(>Qsb "  
4.2 平面光学元件抛光技术 nSL x1Q  
4.2.1 平面抛光原理 |X6]#&g7  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 8yH*  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 /
OpVr15  
4.3 非球面光学元件抛光技术 DJv;ed%x  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 =jX'FNv#  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 .I@jt?6X  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 fBptjt_  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 <xm>_~,w  
参考文献 j zaC  
szY=N7\S*  
第5章 先进光学元件精密检测技术 $~|#Rz%v  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 `2X#;{a:  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 1%YjY"j+  
5.1.2 长行程轮廓检测法 |uT&`0T'e`  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 e7<//~W7W  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 .cTK\  
5.2.1 零位干涉检测技术 n_Ht{2I  
5.2.2 非零位干涉检测技术 \#.@*?fk  
5.3 光学非球面精密检测平台 ubn`w=w$  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 G &'eP  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 5Mfs)a4j.  
参考文献 ,haCZH{  
?G[<~J3-E  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 rRN7HL+b  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 K; 7o+Xr  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 Mt@
P}4  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 GUJaeFe  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 \4RVJ[2  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 *[Ld\lRj  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 NzmVQ-4  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 nwk66o:|  
6.3.1 数据处理系统总体设计 AHq;6cG  
6.3.2 数据预处理 R6ynL([xh  
6.3.3 误差补偿及结果 }nDKSC/[V!  
参考文献 u.wm;eK[  
1sL#XB$@N  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 E$-u:Z<-  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 bqwQi>^Cw  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 (o/HLmr@Y  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 "5]Fl8c?  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 I*/?*p/I  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 IR(
6  
7.2.2 加工环境无线监控对象 pSQ)DqW  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 biCX:m+_?  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 qc}r.'p  
7.3.1 系统硬件组成 =#N;ZG  
7.3.2 系统软件组成 Ex'6 WN~kD  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 \bze-|C  
参考文献 CKShz]1  
as1ZLfN.  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 z z@;UbD"  
8.1 亚表面损伤概述 C3n_'O  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 $2uZdl8Rvj  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 }QszOi\fV1  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 K-&&%Id6R  
8.2 亚表面损伤的形成机理 HH>"J/;c,  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 ~Qzb<^9]  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 Y<U"}}  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 vc.:du  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 tZS-e6*S  
8.3.1 损伤性检测技术 ;P9P2&c8c  
8.3.2 无损检测技术 )J?Nfi%  
8.3.3 亚表面损伤的评价 V[<]BOM\v  
8.3.4 亚表面损伤的预测 cqzd9L6=  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 6#S}EaWf  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 B+G,v:)R6z  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 0f.rjd  
参考文献
E|ce[|2  
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