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本案例介绍利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化,通过优化扩散器以生成一个圆形的top hat。 oF
xVK 6E]rxps}" 关键词:衍射光学,衍射光学元件,均匀(homogenization),扩散器,准分子激光,部分相干
+'.Q- j~q`xv+R 所需工具箱:Starter Toolbox Premium hiHp@"l< .9Fm>e+!C 相关Tutorials:HSL.1, DO.2 IyP].g1"U oyw1N;K 建模任务 JvaaBXkS\ 衍射扩散传输器 目标平面 rSn7(3e4^ G)7sXEe A,qG*lv 准分子激光 聚焦透镜(f=20mm) 强度分布 G].KJ5,y
}L9j`17 @CF4:NNHw 照射光束参数 K^\9R sc60:IxgI ·光源面尺寸:100×100um E76:}( ·发散角(HWHM):0.89×0.89° tO3 ;;% ·空间相干长度:3×3 um F9W5x=EK\ ·波长:351nm 4PQWdPv; .vMi<U; kM`#U
*j 衍射发散器 T1=M6iJ ,qB081hPG oVW?d]R ·取样间隔:5um lV'83 ·尺寸:640×640um y{JkY\g ·相位阶数:8 SZvsJ) N{g=Pf?I} 发散传输器相位 KK</5Aw9p DAW%?(\, 载入光路径图 qa6~N3* <!^Z|E \.]
U 6bba}P l1WVt} ·载入文件HSL.002_Homogenization_Excimer_Laser_by_DOE_01.lpd。 {'!~j!1'j v<1;1m · 该文件在本案例VL_Samples文件夹中。 S##W_OlrI x{$NstGB 高斯型面光源 o1\8>Ew 'oG'`ED"
y1X.Mvc UB}mI0/w qv6]YPP 双击Gaussian Type Plane Source打开编辑对话框。 s3J$+1M> 4<|u~n*JF 7|rT*-Ia ·Gaussian Type Plane Source利用一些非相干高斯光源来模拟空间相干光源。 pjFgIG2=9 · 光源需通过以下设置来对准分子激光束建模。 JK4 @ · 第一步将波长设为351nm。 7Y/_/t~Y · 在Power Spectrum Type下拉框中选择Single Wavelength。(VirtualLab同样支持多波长的模拟。) srL,9)OC )Pq.kn{Sp R9(^CWs ·转到Spatial Parameters P6Ei!t,> }_ E Wm 61 标签页中更改光源的辐射特性。 T[~X~dqwn" :[doYizk: ·光源由Size of Source Plane和Divergence angle或Coherence Length或Waist Radius其中的一种来定义。后面的三个参数不能独立改变,因为它们彼此相关。 &D:88 ·按照截图输入Size of Source Plane和Spatial Coherence Length值。 A@UnrbX: pN[i%\vh
2 E^P=jU` Yh=Zn[U · 转到Mode Selection标签页。 I,D=ixK · 该标签页用来控制模拟空间和时间相干性的模式数(时间相干性通过光谱功率来模拟)。 * 7CI q · 在该页的顶部可以看到总的模式数。 $3>|RlxYA · 底部框用来控制模拟空间相干的Lateral Modes数。 *d(Dk*( M5]wU xQQ6D · Lateral modes可选择开始于Uniform 2D Grid位置或Random位置。 v!2`hqO · Uniform 2D Grid的情况下,Initial Grid Size和Lateral Level两个参数更方便增加模式数。 Oaui@q
· 模式数越多模拟的精度就越高,所需的内存空间和计算时间就越大。 +xMDm_TGLA 点击Cancel按钮。 kDsUKO
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