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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 *:\QD 8 ^ L?al2aopF 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） Bc t>EWQ .YS[Md{
所需工具：Grating Toolbox Basic j1/J9F' :&_@U $ 相关Tutorials：G.001; G.014 OY[N%wr! 建模任务 m{b( ^K9} `uzRHbJ` 理想平面波照射 R?l>Vr G4g },p! 6 _7 3  E(u[? l8^^ O YjHGdacs 镀膜倾斜光栅 .Ta$@sP h} 目标平面 jRgv
8 n 1
#EmZ{* 周期：10um ,
/ 4}CM 厚度：10um 'BUdySng 倾斜角度：20度 60`y= !?f tM@TT@.t~ 光栅的参数 dX+DE(y N18Zsdrp —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 .bpxSU%X t$Qav>D —填充因子 2—后面的介质 `^_.E:f —膜层厚度 3—膜层材料 N|7._AR2 —光栅厚度 N b B`6@ r DVpqm6$ Q [=LQ,e$r7  \f
{ 0Leua p=Vm{i7 设置层数和转折点 *7-uQKp W }T+8+RU vLkZC  2 设置层数和转折点以确定膜层 C9bf1ddCW& xY_/CR[, DoImWNLo 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 \ u5%+GA-: '9^x"U9c r i\r%x 实现可编程光栅 OF DPtJ wV Y|1kE; s q :ff  s6KZV@1
\idg[&}l} E@[`y:P 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） x:?1fvVR  ,T1 t` %X#Wc:b 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） {){i
ONd e OLS tK]r>?Y\ u^:!!Suo  \UN7lDH vH7"tz&RIp 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ot ,<iE#za  GS)l{bS#[O Y{2\== ~ 2 双击Data Series Diagram SJ+.i
u/ 2Uk$9s 采样结果 ZM4q@O) /  V-I_S vWv\
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. r$.ek\D5 <E p P;
QQ：2987619807
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