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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介: j$UV/tp5T  
    aI(7nJ=R  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计; B vo5-P6XY  
    ~\)qi=  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 SzwQOs*  
    {rfF'@[  
    结构设计 ml0.$z  
    1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 QxuhGA  
    znJhP}(  
    Q|Y0,1eVp|  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 %W,D;?lEo>  
    .:p2Tbo  
         FLg*R/  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 8dD2  
    8.' #?]a  
    目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 '7wd$rl  
    LE5.b]tv2  
    光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 \^(0B8|w  
    NNhL*C[_7  
    }+o:j'jB  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 IK,|5]*Ar  
    k#8Ti"0  
    c4&'D;=  
    4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 <FMq>d$\  
    c_aZ{S  
    iGB_{F~t4}  
    CT0l!J~5m~  
    导出加工数据 g (VNy@  
    ;.xoN|Per  
    1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) >hBxY]< \  
    /bj <Ft\  
    lis/`B\x  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 H&r,FmI@  
    3lV^B[$  
     +`7KSwa  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 EbeI{ -'aF  
           K{n{KB&_&  
    -a*K$rnB  
    4Mk-2 Dx  
    ]yjl~3  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 s yU9O&<  
    m}>F<;hQ  
    {`2R,Jb%S  
    qE'9QQ>:b  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 =%'`YbD$  
    #%J5\+ua  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 98 8]}{w  
    Oj<S.fi  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 dU\%Cq-G)  
    iU6Gp-<M ,  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 8|E'>+ D_-  
    K)TrZ 2  
    G=;k=oX(  
    导出加工数据列表 >~`C-K#  
    Kwc6mlw~M  
    s2j['g5  
    PtqJ*Z  
    导入加工数据 .>z][2oz  
    8M@BG8  
    1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI qY\f'K}Q*  
    JdZ+Hp3.  
    AeAp0cbet  
    2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) 0]HYP;E"U  
    WyP W*  
    [ sd;`xk  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) {'16:dTJ  
    =] 3tUD  
    4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 FKe,qTqa  
    29XL$v],  
    s1?[7yC  
    v]B L[/4  
    0Z{j>=$  
    1s1=rZ!  
    5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 v&Kqq!DE  
    RpLE 02U  
    eAPXWWAZJ1  
    6) 导入完成,观察3D视图 )Ud-}* g  
    $%VuSrZ&  
    a<]B B$~  
    \QU^>2 3  
    ko5V9Drc  
    QQ:2987619807
     
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