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    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-25
    内容简介： VevG 64o  
     ZJU %&@  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； Q~qM;l\i  
     DbLo{mFEIj  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 JVkuSIR>  
     XHj%U  
    结构设计 s>I]_W)Pt  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 mRRZ/m?A(  
     F-rhxJd  
    u"(NN9s  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 hnB`+!  
     !-^oU"  
         *]NfT}}  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 k{#k:  
     pZopdEFDK|  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 hU-FSdR  
    3N- '{c6]U  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 >'W,8F  
     MD;Z UAX<  
    JygJ4RI%j  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 du$M  
    )W p7e51  
     f_n  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 3IQI={:k|D  
     ^.iRU'{  
    %a WRXW@c  
     iY$iL<  
    导出加工数据 qpjZ-[UC  
     j3;W-c`5  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) ut\ X{.r7  
     EjFpQ|-L|  
    ]s0wJD=  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 #<"od'{U  
     PNo:[9`S;m  
    bAH<h   
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 0C%IdV%CU  
           5NUaXQ  
    SO *oBA'  
    \P+^BG!  
    ?xH{7)dO  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 4V4S5V  
    2"Wq=qy\J  
    (?8i^T?WP=  
    v JGH8$%;,  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 9%|skTgIqH  
     hvO$ f.i  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 t?-a JU  
    4GF3.?3  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 D!Y@Og.  
    rZpsC}C'  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 1c#\CO1l  
    L5 Cfa-  
    >'q]ypA1  
    导出加工数据列表 ?2da6v,t  
     R|8L'H+1x  
    ~K#92  
    "Hz%0zP&  
    导入加工数据 X41Qkf{  
     yH-&o,  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI 4[x` \  
     zn^7#$fC  
    lMu9Dp  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) ysK J=  
     y `FZ 0FI  
    2e1%L,y{W  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) TO5y.M|7  
    $dKfUlO  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 ]zyT_}&  
     aW dI  
    )8g& lyT  
    mMllen  
    * bYU=RS  
    ~D}fy  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 QOUyD;0IW  
    `lOW7Z}  
    E"p _!!1  
    6) 导入完成，观察3D视图 HLqN=vE6  
     5<`83; R9  
    kZG; \  
    qonStIP  
    $rk=#;6]v;  
    QQ：2987619807
     
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