-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2024-05-15
- 在线时间1261小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 c s:E^ 5 (q4o` 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 tCu.Fc@
|F qujZz 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 -f?,%6(1
7$* x&We 要求工具箱：光栅工具箱 r V*Ri~Vx
U_UN& /f 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 3 [O+wVv "K;""]#wg0 一、模拟任务： =t|,6Vp 二、光栅的描述 \(zUI
PM QlJ& 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 H5CL0#I
iWkC: fQz 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 oTTE<Ct [
$j4/ohwTDY 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 c68,,rJO]i
}1.'2. <Y 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 3]7j, 1^
@jZ1WHS_a 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 A3J=,aRI_v
C[><m2T 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 Nkn2\ w i
nk !>Z tK 6=F63e FvD/z ;N 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Xs~IoU I:;umyRH |>wGl 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm @S&QxE^ $Xs`'> ," U@53VmrOy 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm J2$,'(!( Kv ajk~ yMpZ-b$*~ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm .
\8"f]~ f7;<jj;w7 '{)Jhl47 5. 参数运行 M5N #xgR
^3QJv{)Q 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 t"v kd
, hp8b$ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 N_l_^yD F4IU2_CnPD 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 <driD'=F B'b OK`p v z&88jt 4v9d&
m!< 7. 总结 O0eM*~zI
c IPOI'3d 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 \Qf2:[-V0
xrv 0% 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 |w5,%#AeO$
Q!r` G 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 /0X mU@B *n6L3"cO
/-+ hMYe QQ：2987619807 Q^X}7Z|T
|
