示例.0082(1.0) >T^BD'z@' A_5M\iN\ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 V%FWZn^
]"\sd" 1. 描述 g'.(te | ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 j$z!kd+% ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ):5H,B+Vr& ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 PD:lI]:s
xJ\>;$CY 2. 系统 4ZT0~37( oUN;u*
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
G"*ch$: 3. 透镜系统组件编辑 -Vjrh/@
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 }FC(Z-g
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ?]58{O(?c
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 '77Gg
■ 包括序列光学表面和光学介质。 "!PN +gB
z?C&,mv I@I-QiI 4. 光线追迹系统分析器-选项 7JLjA\k ">Y(0^^ \7*"M y*
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 e/<'HM T
■ 可以选择选取光线的方法: p+xjYU4^C
— 在x-y-网格 j\uPOn8k
— 六边形 Uc]sWcR
— 自由选取 ""_%u'7t5I
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 &MP + |@pn=wW 5. 系统的3维视图 RJ$x{$r[ !<4 =@ H>|*D~RdT 6. 其他系统参数 '/<f'R^ ■ 系统由单色平面波照明 *nV*WUS3 ■ 照明波长266.08nm `SG8w_ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 3;wOA4ur — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 /"7_75
t — 一个虚拟屏位于焦平面 !mu1e=bY> — 光束尺寸探测器置于焦平面 w72\' ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 k6^!G " )L$)qfQ~x ^7V{nT@H3 C{FE*@U. }+GIrEDId 7. 光线追迹系统分析器的结果 Bx ru7E"
sf'+; 光线经过整个光学系统的三维视图
_{y4N0 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
M IR))j; y"Jma`Vjq g I@I.=y qnTW?c9Z5 3mLtnRX[m eBg:[44V 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 :o}LJc)| rFG_CC2 }"6
PM)s
■ VirtualLab可用于计算点列图。 yFjjpEpnFt
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Y]:Ch (Q
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ,O1/|Y
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ^y<8&ZFH
)wfqGkr=m! 9. 焦平面上的结果 O
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ! ^TCe8
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 6~!l7HqO
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm H.*aVb$
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 XywsjeI4
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 P,={ C6* Y3?)*kz% 10. 总结 xw~3x*{ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 L_Lhmtm}m ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 GVUZn// ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 p\ _& ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 3u~V&jl
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