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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) >T^BD'z@'  
    A_5M\iN\  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 V%FWZn^  
    ]"\sd"  
    1. 描述 g'.(te |  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 j$z!kd+%  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ):5H,B+Vr&  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 PD:lI]:s  
    x J\>;$CY  
    2. 系统 4ZT0~37(  
    oUN;u*  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    G"*ch$:  
    3. 透镜系统组件编辑 -Vjrh/@  
    6CNxb  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 } FC(Z-g  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ?]58{O(?c  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 '77Gg  
    包括序列光学表面和光学介质。 "!PN+gB  
    z?C& ,mv  
    I@I-QiI  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 7JLjA\k  
    "> Y(0^^  
    \7 *"M y*  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 e/<'HM T  
    可以选择选取光线的方法: p+xjYU4^C  
    — 在x-y-网格 j\uPOn8k  
    — 六边形 Uc]sWcR  
    — 自由选取 ""_%u'7t5I  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    &MP +  
    |@pn=wW  
    5. 系统的3维视图 RJ$x{$r[  
    !<4=@  
    H>|*D~RdT  
    6. 其他系统参数 '/<f'R^  
    系统由单色平面波照明 *nV*WU S3  
    照明波长266.08nm `SG8w_  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 3;wOA4ur  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 /"7_75 t  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 !mu1e=bY>  
    光束尺寸探测器置于焦平面 w72\'  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 k6^!G"  
    )L$)qfQ~x  
    ^7V{nT@H3  
    C{FE*@U.  
    }+GIrEDId  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Bx ru7E"  
     sf'+;  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    _{y4N0  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    M I R))j;  
    y"Jma`Vjq  
    g I@I.=y  
    qnTW?c9Z5  
    3mLtnRX[m  
    eBg:[4 4V  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 :o}LJc)|  
    rFG_CC2  
    }"6 PM)s  
    VirtualLab可用于计算点列图。 yFjjpEpnFt  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Y]: Ch (Q  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ,O 1/|Y  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ^y<8 &ZFH  
    )wfqGkr=m!  
    9. 焦平面上的结果 O <"\G!y~  
    9<-7AN}Z  
    ,p9>/)l  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ! ^TCe8  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 6~!l7HqO  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm H.*aVb$  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 XywsjeI4  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    P,={ C6*  
    Y3?)*kz%  
    10. 总结 xw~3x*{  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 L_Lhmtm}m  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 GVUZn//  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 p\ _&  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 3u~V&jl  
    )6:1`&6  
    #Mrc!pT]xy  
    QQ:2987619807 4~Jg\@  
     
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