^l
;Bo3^_ 案例024(3.0)
@sd{V TOP,]N/F
H 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
6b` Jq>v =7: }/& 1. 建模任务1:金属光栅 ib]<;t =/ !A j[$+DCO#|m 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
l%
%c U" 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
:m'(8s8 q~AvxO 2. 建模任务2:介质光栅 +Ezl.O@z ecvZwL 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
[%Dh0hOg 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
/@&uaw NFur+zwv 3. 建模任务 b-c6.aKf| oOXJ7|n Tn3C0
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
j~;y~Cx? 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
DEfhR?v 场分布计算能够检测结构内部的热点
^ 6t"A :}SR{}]yXs 4. TE和TM照明线性光栅 `C6,**`R$k cZWW[i 5. 铬狭缝的分析 $x+ P)5) r|3u]rt iN@|08 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
mII8jyg*c 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
X0$?$ta 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
>Ij#+= 红线说明了结构的形状(手动添加)
* _,yK-et 2v*X^2+ 6. 三角光栅的分析 [R~@#I P! 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
Fk`6
q to\$'2F"q RC/&dB 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
}4Gn$'e 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
yW"}%)
d 红线说明了结构的形状(手动添加)。
^#7&R" 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
d _=44( - GL&rT& 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
7tY~8gQel t$Ua&w 7. 总结 :3}K$ <(~geN VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
_9/Af1X 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
CTX%~1_`O 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
<2+FE/3L 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。
t{ridA} vZSwX@0 kf)s3I/`( QQ:2987619807