k ELV]iWb 案例024(3.0)
0OlB; aP2 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
Vw+U? 5B"j\TwQ 1. 建模任务1:金属光栅 v k<By R I=.98v% U@i+XZc"S 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
c7sW:Yzil 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
gzi~BJ 02b v0 2. 建模任务2:介质光栅 l'mgjv~ R ]HHbD&; 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
{PdyKgM 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
poQY X5 \z0" 3. 建模任务 Z^s&] sJMT _yt; Fvl_5 l
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
O?rVa:\ 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
Y}ITA=L7 场分布计算能够检测结构内部的热点
@G^
l`% 7H9&\ur9+ 4. TE和TM照明线性光栅 = gOq
>` pWK7B`t 5. 铬狭缝的分析 OZDnU6 yB,$4:C #jbo!
wdg 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
r+d%*Dx 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
<4D.P2ct 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
evz{@;.R 红线说明了结构的形状(手动添加)
IL*C/y o[&*vc) 6. 三角光栅的分析 YyjnyG 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
M qFuZg hvwKhQ}wX =c[9:&5Q 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
:$L^l{gT 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
MB%yC]w8 红线说明了结构的形状(手动添加)。
dXg.[|S* 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
!^:b?M \mbm$E+X 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
T2Ms/1FH/@ !.Eua3:V* 7. 总结 |@!4BA \u9l4 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
F^fL 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
$oDc 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
Hyh$-iCa 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。
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!B;D -Q o'+p,_y9Y@ QQ:2987619807