[分享]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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案例024(3.0) {]Ec:6  
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该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 o?/fObV@(  
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1. 建模任务1：金属光栅 F*p@hl  
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 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ,m[#<}xXA  
 对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 |*B9{/;4  
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2. 建模任务2：介质光栅 NX8. \Pf#  
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 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ODKHI\U  
 对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 {r
?+PQQ#  
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3. 建模任务 _Lgi5B%   
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 VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 B3W2?5p  
 通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。 D-Q54"^3  
 场分布计算能够检测结构内部的热点 @me ( pnD  
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4. TE和TM照明线性光栅 4VP$,|a  
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5. 铬狭缝的分析 u-R;rf5%k  
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KJW^pAj$B  
 通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。 P\&n0C~  
 左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。 d RHw]!.  
 对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。 =U}!+ 8f  
 红线说明了结构的形状（手动添加） :nS p  
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6. 三角光栅的分析 [Q[ac 6f  
 左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 i2?TMM!Fe  
:?:R5_Nd=  
@+hO,WXN  
 如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。 K_-S`-eH  
 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。 ~Gh9m]b  
 红线说明了结构的形状（手动添加）。 TRFza}4:i  
 左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 ,"Nb;Yhg  
wp<f{^ et  
 与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状（手动添加）。 v*^'|QyM7  
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7. 总结 OQ+kOE&  
oT- Y  
 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 f<vZ4 IU  
 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 R:U!HE8j  
 对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 9^@#Ua  
 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。 KNSMx<GP  
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